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技术 · 产品
Ronda Korea 推进“标准化定制”策略,以提供客户专属耗材解决方案
由于各客户的半导体设备结构与工艺条件存在差异,因此很难统一适用完全相同的耗材部件。但过度的定制化可能导致供应成本上升与交期延长。为此,“标准化定制(Customized Standard)” 正逐渐成为一种新的解决方案。Ronda Korea 通过分析客户主要设备型号与工艺条件,在标准化平台的基础上,仅调整必要形状参数,采用“半定制化”设计方式,提供如 Insert Ring(内环)、Edge R…
技术 · 产品
Ronda Korea 专注于提供用于等离子体工艺优化的 SiC 耗材
在基于等离子体的半导体工艺中,材料的耐久性与精度直接关系到生产效率。碳化硅(SiC)凭借其出色的热导率、优异的抗等离子体性能及低颗粒生成特性,已成为广泛应用于 蚀刻(Etch) 和 化学气相沉积(CVD) 等高温工艺的代表性材料。Ronda Korea 可根据客户工艺需求,设计并提供多种 SiC 部件,包括 上电极(Upper Electrode)、聚焦环(Focus Ring)、衬套(Liner…
技术 · 产品
隆达韩国:专注于硅部件精密加工,以提升工艺良率
在Etch(蚀刻)工艺中使用的硅(Si)部件(如Insert Ring、静电卡盘等)并非简单的消耗品,而是在提高工艺良率和精确颗粒控制方面发挥着关键作用。高纯度硅材料对其本身的均匀性和加工精度有极高要求,并且必须与具体的工艺条件高度匹配。Ronda Korea结合自主设计能力与基于CNC的精密加工技术,提供能够完美适配客户腔体条件的定制化硅部件。其在厚度均匀性、精密公差控制以及等离子体耐久性方面的…
技术 · 产品
Ronda Korea 致力于精密真空密封用垫圈的设计与材料多样化
垫圈(Gasket)在半导体设备中不仅承担着维持真空和防止气体泄漏的功能性角色,同时也是影响设备长期稳定性的关键部件。常用材料包括 PTFE、FFKM 和 硅胶(Silicone),根据不同的工艺环境选择合适材料尤为重要。Ronda Korea 拥有支持多品种小批量生产的精密加工体系,能够根据客户设备的设计规格,定制生产各类垫圈产品。公司基于耐热性、耐化学性和压缩回弹性的性能数据进行设计,确保产品…
技术 · 产品
Ronda Korea 扩大高纯石英部件供应,以提升高温工艺稳定性
石英(Quartz)因其高纯度、优异的绝缘性能及耐热冲击的特性,成为半导体设备高温工艺环境中不可或缺的关键材料。尤其是石英环(Quartz Ring)、护罩(Shield)及导向件(Guide)等组件,有助于在工艺腔体内实现稳定的等离子体分布并抑制颗粒的产生。Ronda Korea 精选来自国内外的高纯度石英材料,并依据内部严格的品质标准进行高精度加工,提供符合客户设备条件的定制化石英部件。所有产…
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