我们提供多种适用于半导体等离子工艺的高质量耗材部件，包括 Insert Ring、Showerhead、Ground Ring、Edge Ring，以及用于晶圆传输和处理的 Boat、Tube 等。这些产品在提升工艺效率与良率方面发挥着关键作用。

我们的厂务解决方案涵盖多种关键阀门及配件，用于腔体与产线管理，包括 APC 阀、Gate 阀、Slit 阀、Angle 阀等。同时，还提供真空系统核心设备，如 Dry Type、Plasma Type、Wet Type 泵，Dry Pump、Turbo Pump，以及完整的泵维修服务，助力客户优化整体设备运行。

是的，我们可为主流半导体设备制造商的多种机型提供兼容部件。同时也可根据客户的特定设备与工艺需求提供定制化解决方案。详细兼容信息请通过技术支持渠道咨询。