Dry Pump

无油结构可最大限度减少污染风险

可精确调节真空阶段并支持可变压力运行

内部采用防腐蚀涂层，延长使用寿命

Turbo Pump

通过高速旋转叶片实现高真空环境

在分子流动区也能保持稳定真空

低振动与低噪音，适合集成于设备内部