Insert Ring

固定晶圆边缘，防止微小位置偏移

提高蚀刻均匀性，减少边缘损伤

即使在重复工艺中也能保持形状稳定性，确保高良率

Showerhead

通过多个微孔均匀喷射反应气体

保持等离子体均匀性，控制电子密度分布

具备优异的耐温和电气性能变化能力，提升工艺稳定性